SJ/T 31113-1994 DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法

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文件大小： 100.83 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 完好   评定   曝光   电子束   检查
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标准简介

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适用范围：本文件明确了DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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