SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 126.19 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 完好   对准   评定   曝光   检查
进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 的PDF全文下载。

适用范围：本文件规定了JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

相关推荐