SN/T 5822-2025 可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材

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文件大小： 1.86 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 检验检疫
关键词： 高纯   金属   循环   检验   利用
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SN/T 5822-2025 可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材

标准简介

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适用范围：本文件提供了可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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