[国家标准] GB/T 33202-2016 发电机爪极精密锻件 工艺编制原则
[国家标准] GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
[国家标准] GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
[国家标准] GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范