[团体标准] T/ZZB 3882-2024 等离子刻蚀机用硅环
[国家标准] GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环
[电子行业标准] SJ 21258-2018 干法刻蚀设备工艺验证方法
[电子行业标准] SJ 21169-2016 MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
[安徽省地方标准] DB34/T 3438-2019 清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求