[其他未分类标准] ZJM-001-419X-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材
[国家标准] GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材
[团体标准] T/ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材