[国家标准] GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
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[国家标准] GB 51401-2019 电子工业废气处理工程设计标准
[北京市地方标准] DB11/1631-2019 电子工业大气污染物排放标准
[安全生产行业标准] AQ 4201-2008 电子工业防尘防毒技术规范
[电子行业标准] SJ/T 11598-2016 电子工业用氢化铝钠
[国家标准] GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯
[国家标准] GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷