[国外标准] ASTM F1094-87(2005) 用直接加压分接抽样阀和用预先消毒塑料包法对电子和微电子器件加工用水微生物监测的测试方法
[其他未分类标准] GJB 548B-2005 微电子器件试验方法和程序
[重庆市地方标准] DB50/T 540-2014 微电子热质燃气流量计
[上海市地方标准] DB31/842-2014 微电子元件制造业职业病危害控制规范