T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 工厂   评价   绿色   制造业   要求
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标准简介

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适用范围：本标准针对半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求提出了环境质量指标与污染防治要求，为环境保护提供技术依据。

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