T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

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文件大小： 520.66 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 高纯   半导体   石墨粉   碳化硅   ZZB
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标准简介

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适用范围：本文件提供了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的标准化实施规范，适用于团体标准的工程实践与质量管理。

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