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T/CASAS 004.1-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语

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资料类别： 团体标准

更新日期： 2022-10-17

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推荐信息： 术语缺陷衬底碳化硅外延

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T∕CASAS 004.1-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语

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