T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法光谱反射法

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语言版本：简体中文

标准类别：团体标准

关键词：高深光谱反射深度结构

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标准简介

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适用范围：本文件提供了MEMS高深宽比结构深度测量方法光谱反射法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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