T/IAWBS 005-2018 6 英寸碳化硅单晶抛光片

文件格式： PDF文档
文件大小： 490.58 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 抛光   英寸   碳化硅   IAWBS   005
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标准简介

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适用范围：本文件明确了6 英寸碳化硅单晶抛光片的管理规定与实施要求，适用于团体标准的运行维护与安全管理。

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