T/QGCML 1407-2023 半导体光伏制造用双套管密封装置

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文件大小： 530.26 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 套管   密封   半导体   装置   制造
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标准简介

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适用范围：本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的技术规范与管理要求，适用于能源的行业管理与质量评价。

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