T/NXCL 029-2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 抛光   含量   低氧   NXCL   029
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标准简介

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适用范围：本标准确立了300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片应遵循的技术准则，适用于团体标准的日常管理与技术监督。

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