T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

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文件大小： 575.98 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 坩埚   石英   半导体   合成   生长
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标准简介

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适用范围：本标准对半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的技术活动作出了具体规定，适用于团体标准的技术资源管理与配置。

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