T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

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文件大小： 465.44 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 粉尘   半导体   智能   金属   车间
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标准简介

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适用范围：本文件明确了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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