T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范

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语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 电镀   洁净   规范   制造   电化学
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标准简介

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适用范围：本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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