T/STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵

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文件大小： 464.48 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 半导体   真空泵   多级   STIC   110096
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标准简介

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适用范围：本文件提供了半导体用多级罗茨干式真空泵的技术依据与操作指南，适用于团体标准的日常管理与技术监督。

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