YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

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文件大小: 651.22 KB
语言版本: 简体中文
标准类别: 有色金属
关键词: 高纯   薄膜   合金   电子   YS

标准简介

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适用范围:本文件涵盖了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的主要技术管理内容,适用于有色金属的技术资源管理与配置。

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