YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法

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语言版本：简体中文

标准类别：有色金属

关键词：色谱测定含量硅烷外延

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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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