YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.65 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 高纯   薄膜   电子   YS   893
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标准简介

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适用范围：本文件涵盖了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的技术规定与基本要求，适用于有色金属的质量检验与评估工作。

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