YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

文件格式： PDF文档
文件大小： 9.81 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 有色金属
关键词： 器件   合金   集成电路   YS   936
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标准简介

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适用范围：本文件涵盖了集成电路器件用镍钒合金靶材的主要技术管理内容，为有色金属的技术规划与决策提供参考。

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