YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法

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语言版本：简体中文

标准类别：有色金属

关键词：色谱尾气测定含量硅烷

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标准简介

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适用范围：本文件规定了多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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