GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 449.68 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 晶片   平整   测试   碳化硅   方法
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标准简介

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适用范围：本文件明确了碳化硅单晶片平整度测试方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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