GB/T 34899-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

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文件大小： 1.2 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 应力   光谱   微机   基于   测试
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标准简介

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适用范围：本标准对微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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