文件名称
大小更新日期
534.73 KB2024-02-24
7.42 MB2023-11-06
[国家标准] GB/T 42897-2023 正式版 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
1.59 MB2023-10-29
1.29 MB2023-10-28
2.03 MB2023-10-29
2.85 MB2023-09-05
3.19 MB2023-09-05
3.05 MB2023-09-05
227.1 MB2023-07-26
12.83 MB2023-07-23
189.88 MB2023-07-15
12.5 MB2023-06-13
89.77 MB2023-06-13
400.64 KB2023-04-19
860.12 KB2023-04-19
6.75 MB2023-03-07
5.67 MB2022-12-29
3.92 MB2023-01-16
[国外标准] JIS C 5630-30-2020 半导体器件 微机电器件 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法
14.73 MB2022-10-19
[国外标准] JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分:振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法
15.74 MB2022-10-19
74.46 MB2022-09-02
7.88 MB2022-08-29
51.32 MB2022-08-26
35.89 MB2022-08-26
52.01 MB2022-07-20