T/CSCP 0059.2-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第2部分：选材与评价

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文件大小： 4.68 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 选材   传感器   微机   腐蚀   芯片
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标准简介

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适用范围：本文件规定了T/CSCP 0059.2-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第2部分：选材与评价的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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