GB/T 47562-2026 微机电系统(MEMS)技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片

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语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 微机   复合   芯片   系统   压力传感器

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GB/T 47562-2026 微机电系统(MEMS)技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片

标准简介

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适用范围:本文件确立了微机电系统(MEMS)技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片的技术管理体系,适用于国家标准的技术交流与合作。

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