T/CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第5部分：电路设计及测试

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语言版本：简体中文

标准类别：团体标准

关键词：传感器微机腐蚀芯片测试

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适用范围：本标准涵盖了T/CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第5部分：电路设计及测试的主要技术内容，是产品制造领域的重要参考文件。