GB/T 26066-2010 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

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文件大小： 189.42 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 晶片   腐蚀   测试   检测   方法
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标准简介

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适用范围：本文件明确了硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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