GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 晶片   抛光   半导体   化合物   损伤
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标准简介

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适用范围：本文件规定了化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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