GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 术语   微机   系统   技术   GB
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标准简介

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适用范围：本标准确立了微机电系统(MEMS)技术 术语应遵循的技术准则，为国家标准的标准化建设提供重要参考。

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