JIS C 5630-28-2020 半导体器件微机电器件第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法

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语言版本：日文版

标准类别：国外标准

关键词：器件微机体能振动驱动

标准简介

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适用范围：本文件提供了JIS C 5630-28-2020 半导体器件微机电器件第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。