JIS C 5630-30-2020 半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法

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文件大小： 14.73 MB
语言版本： 日文版
标准类别： 国外标准
关键词： 器件   薄膜   微机   机电   特性
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标准简介

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适用范围：本标准针对JIS C 5630-30-2020 半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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