基于AlGaN∕GaN HEMT的源漏整体刻蚀欧姆接触结构

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资源类别: 电子
关键词: 欧姆   基于   接触   整体   刻蚀
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基于AlGaN∕GaN HEMT的源漏整体刻蚀欧姆接触结构
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