硅晶片上超薄氧化硅层厚度纳米尺寸效应的XPS研究

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资源类别： 化工
关键词： 晶片   超薄   厚度   尺寸   氧化
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硅晶片上超薄氧化硅层厚度纳米尺寸效应的XPS研究
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