InAs∕GaSb二类超晶格红外探测材料的ICP刻蚀

文件格式： PDF文档
文件大小： 822.36 KB
资源类别： 机械
关键词： 探测   晶格   刻蚀   材料   红外
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

InAs∕GaSb二类超晶格红外探测材料的ICP刻蚀
相关推荐