利用CH4∕H2∕Ar及Cl2高密度等离子体对InSb的高速率刻蚀研究

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资源类别： 机械
关键词： 高密度   速率   刻蚀   等离子体   利用
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利用CH4∕H2∕Ar及Cl2高密度等离子体对InSb的高速率刻蚀研究
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