193 nm和248 nm波长准分子激光对玻璃及聚合物刻蚀特性的比较

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资源类别： 机械
关键词： 聚合物   波长   特性   玻璃   刻蚀
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193 nm和248 nm波长准分子激光对玻璃及聚合物刻蚀特性的比较
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