4H-SiC外延晶片表面三角型缺陷形成机制及其优化工艺的研究

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资源类别：电力

关键词：晶片三角缺陷及其工艺

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论文简介

4H-SiC外延晶片表面三角型缺陷形成机制及其优化工艺的研究

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