机械设计手册 单行本 微机电系统设计与激光 第5版
作者：闻邦椿 主编
出版时间：2015年版
丛编项： 机械设计手册
内容简介
　　本单行本为《微机电系统设计与激光》，主要介绍微机电系统基本概念与应用领域、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等；激光加工概论（激光器基础、加工中常用的激光器、激光加工物理基础）、激光打孔、激光切割、激光焊接、激光淬火、激光熔覆与合金化、激光冲击强化、激光在其它机械工程领域的应用、激光加工的安全防护等。
目　　录
出版说明
第5版前言
第29篇 微机电系统及设计
第1章 微机电系统概述
1 基本概念
1.1 微传感器
1.2 微执行器
1.3 微机电系统的基本特征
1.4 微机电系统和微电子的比较
2 微机电系统发展历程
3 微机电系统及相关技术
3.1 微机电系统组成
3.2 微机电系统设计
3.3 微机电系统制造
3.4 微机电系统封装
3.5 微机电系统装配
3.6 系统封装(SiP)
3.7 微机电系统可靠性
3.8 微机电系统测试
4 微机电系统应用领域
4.1 微机电系统在汽车中的应用
4.2 微机电系统在医疗和生命科学领
域的应用
4.3 微机电系统在航天工业的应用
4.4 微机电系统在电信领域中的应用
第2章 微机电系统制造
1 体硅微机械加工技术
1.1 硅晶体的描述
1.2 各向同性腐蚀
1.3 各向异性腐蚀
1.3.1 不同腐蚀液中的腐蚀速率
1.3.2 腐蚀速率与温度的关系
1.3.3 腐蚀速率与腐蚀液含量的关系
1.3.4 腐蚀速率与衬底掺杂浓度的
关系
1.3.5 不同腐蚀液中的腐蚀表面状况
1.3.6 各向异性腐蚀加工技术中的
凸角补偿方法
1.4 深反应离子刻蚀
1.4.1 刻蚀原理
1.4.2 载片台温度与SF6／O2配比
的影响
1.4.3 SF6流量与ICP功率的影响
1.4.4 滞后效应和凹缺效应
1.4.5 深反应离子刻蚀工艺优化
1.5 硅直接键合技术
1.5.1 硅直接键合技术的分类
1.5.2 键合前的清洗
1.5.3 键合表面的活化
1.5.4 平整度对键合的影响
1.5.5 键合后的热处理
1.5.6 键合质量的表征
2 表面微机械加工技术
2.1 表面微机械加工的薄膜材料及其
特性
2.1.1 多晶硅
2.1.2 氧化硅
2.1.3 氮化硅
2.1.4 其他表面微机械加工材料
2.2 牺牲层释放腐蚀技术
2.2.1 氧化硅牺牲层的腐蚀
2.2.2 粘附问题及其解决方案
2.3 标准化的表面微机械加工工艺
2.3.1 MuMPS加工工艺
2.3.2 SUMMiTTM-V加工工艺
3 玻璃微机械加工技术
3.1 湿法刻蚀
3.2 干法刻蚀
4 UV-LIGA技术
5 其他微机械加工技术
6 微机电系统制造工艺优先
第3章 微机电系统设计
1 设计工具
2 微机械润滑
3 静电执行器
4 压电执行器
5 热执行器
6 热气动和相变执行器
7 磁执行器
8 执行器比较
第4章 微机电系统实例
1 微机械压力传感器
2 微机械惯性传感器
3 微滴发生器
4 微流控芯片
5 微机械装置
6 微机器人
参考文献
第31篇 激光及其在机械工程中的应用
第1章 激光加工概论
1 激光机基础
2 加工中常用的激光器
3 激光加工物理基础
第2章 激光打孔
1 激光打孔的特点与分类
2 激光打孔的原理及物理过程
3 激光打孔工艺参数
4 激光打孔的质量检验
第3章 激光切割
1 激光气割机理
2 激光切割质量
3 影响激光切割质量的因素
4 常用工程材料的激光切割
第4章 激光焊接
1 激光焊接原理与分类
2 激光热传导焊接
3 激光深熔焊接
4 激光焊接中常出现的问题
5 典型材料的机关焊接
第5章 激光淬火
1 激光淬火原理与特点
2 激光淬火质量
3 激光淬火工艺及参数
第6章 激光熔覆于合金化
1 激光熔覆于合金化的基础
2 激光熔覆
3 激光合金化
4 激光熔覆于合金化的质量控制
第7章 激光冲击强化
1 概述
2 激光冲击过程机理
3 激光冲击的两种模型
4 涂层和约束涂层技术
5 激光冲击设备
6 典型材料的激光冲击强化效果
第8章 激光在其他机械工程领域的应用
1 激光板料成形
2 激光毛化
3 激光标记
4 激光表面非晶化
5 激光清洗
6 激光全息干涉无损检测技术
第9章 激光加工的安全防护
1 激辐射的危害
2 使用激光时伴随的危害
3 激光安全防护标准
4 激光危害分类
5 激光危害的工程控制
参考文献