T/CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

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文件大小： 419 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 团体标准
关键词： 晶片   石墨   制造   各向同性   碳化硅
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T/CASAS 068-2026 碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨

标准简介

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适用范围：本文件规定了碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨的技术实施准则，为团体标准的技术监管提供重要参考。

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