YS/T 27-1992 晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法

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语言版本：简体中文

标准类别：有色金属

关键词：晶片计数微粒测量沾污

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标准简介

说明：本站提供 YS/T 27-1992 晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法 的PDF全文下载。

适用范围：本标准针对晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法提出了环境质量指标与污染防治要求，为环境保护提供技术依据。

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